AL120-12晶圓搬送機(jī)

產(chǎn)品簡介：AL120-12 晶圓搬送機(jī)適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。

更新時(shí)間：2019-03-05
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產(chǎn)品分類

PRODUCT CATEGORY

顯微檢測設(shè)備

奧林巴斯工業(yè)顯微鏡
激光共聚焦顯微鏡光學(xué)數(shù)碼顯微鏡正/倒置金相顯微鏡原子力顯微鏡顯微分光測定儀體視顯微鏡半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡測量顯微鏡圖像分析軟件偏光顯微鏡
奧林巴斯生物顯微鏡

DeltaPix 數(shù)碼顯微鏡
DPX M12000 數(shù)碼顯微鏡
顯微光電流測試系統(tǒng)

測量顯微鏡

紅外測量顯微鏡

日立掃描電鏡
日立電鏡制樣設(shè)備場發(fā)射掃描電鏡鎢燈絲掃描電鏡臺(tái)式掃描電鏡
激光加工設(shè)備

Deltapix相機(jī)
SWIR1.3DPX SWIR – Short-wave infrared cameras with InGaAs sensor technology COOL09DPX Cooled Microscope Camera with 9 Megapixel COOL07DPX Cooled Microscope Camera with 7 Megapixel Invenio 6EIII 6.3 Megapixel Microscope Camera Invenio 10EIII 10 Megapixel Microscope Camera Invenio 20EIII 20 Megapixel Microscope Camera Invenio 12EIII 12 Megapixel Microscope Camera
激光修補(bǔ)機(jī)/激光打標(biāo)機(jī)

飛秒激光直寫設(shè)備

高速相機(jī)
高速軟件 i-SPEED7 i-SPEED5 i-SPPED2
無掩膜光刻機(jī)
定制化系統(tǒng)

冷熱臺(tái)

顯微變倍檢測

顯微探針臺(tái)

低溫凍融顯微系統(tǒng)

顯微拉曼光譜測試系統(tǒng)

顯微光電流測試系統(tǒng)

光纖波導(dǎo)耦合系統(tǒng)

手動(dòng)探針臺(tái)

激光修補(bǔ)機(jī)

大尺寸顯微鏡
光學(xué)設(shè)備組件

Prior電動(dòng)載物臺(tái)

WDI自動(dòng)聚焦系統(tǒng)
WDI IRLC近紅外激光掃描顯微鏡 WDI MMS模塊化自動(dòng)聚焦顯微鏡 WDI ATF自動(dòng)聚焦模塊
Navitar鏡頭

奧林巴斯物鏡

INSTEC冷熱臺(tái)

三豐物鏡

相機(jī)
紅外相機(jī) 可見光相機(jī)
變倍鏡頭

電動(dòng)物鏡切換器

電動(dòng)載物臺(tái)

其他附件
Acktar鍍黑鋁箔探測器
軟件

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詳細(xì)介紹

AL120-12晶圓搬送機(jī)對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便
•可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
•分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機(jī)型。

堅(jiān)固、可靠和安全傳送
•延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
•薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。
•宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。

專用宏觀照明裝置